發(fā)布時(shí)間：2022-10-19 | 游覽：4282
內(nèi)容摘要：特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部分是腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體。
特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部分是腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體。
針對(duì)腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于特氣柜(Gas Cabinet)內(nèi)，再通過(guò)管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場(chǎng)附近的閥門(mén)箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn)(POU, Point of Use)，于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前，會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤(pán)(GB, Gas Box)與制程控制模塊聯(lián)機(jī)，以質(zhì)流流量計(jì)控制器(MFC, Mass Flow Controller)進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制，通常此氣體控制盤(pán)不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)范疇，而是歸屬制程機(jī)臺(tái)設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開(kāi)放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門(mén)盤(pán)(VMP, Valve Manifold Panel)進(jìn)行供應(yīng)。
本篇內(nèi)容來(lái)源于網(wǎng)絡(luò)，如有侵權(quán)，請(qǐng)聯(lián)系刪除
服務(wù)熱線：
版權(quán)所有
福建德?tīng)柨萍脊煞萦邢薰?/li>聯(lián)系地址：
福建省龍巖市上杭縣蛟洋鎮(zhèn)蛟洋工業(yè)集中區(qū)工業(yè)路6號(hào)
中文版
ENGLISH
閩公網(wǎng)安備 35082302000172號(hào)